SESC/GEM

반도체 공정의 자동화를 위해 반도체 장비 업체들 간의 표준화 된 통신 규약의 필요성에 의해 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 에 의해 정의되었다. SECS-I, SECS-II, HSMS를 묶어 통칭한다.

SECS-I

SECS-II 메세지(데이터)를 RS-232C 통신을 통해 송/수신 하기 위한 규칙. 업계에서 RS-232C 통신이 TCP/IP 통신으로 많이 대체 되면서 요즘에는 거의 쓰이지 않는다.

HSMS (High Speed SECS Message Service)

SECS-I 을 대체하기 위해 만들어진 프로토콜로 SECS-I 과 마찬가지로 SECS-II 메세지(데이터)를 TCP/IP통신을 통해 송/수신 하기 위한 규칙.

GEM (Generic Equipment Model)

SECS 프로토콜은 장비와 호스트 간에 통신을 하기 위한 최소한의 규약으로 장비가 가지고 있는 다양한 기능들에 대한 자체적인 동작에 대해 표준화 한 것이 아니다. 이에 SEMI는 장비 동작에 대한 시나리오와 이때 사용 되는 SECS-II 메세지를 묶어 장비 구동에 대한 표준인 GEM을 정의하였다.

SEM (Specific Equipment Model)

GEM 으로 모든 장비의 사양을 규정하는 것은 불가능. 특정 장비에만 적용 되는 사양은 SEM으로 관리한다.

참조사이트
https://browoo.tistory.com/127
https://idlecomputer.tistory.com/56?category=767417