SESC/GEM
Posted on: 2019년 2월 20일 /
Categories: 미분류
반도체 공정의 자동화를 위해 반도체 장비 업체들 간의 표준화 된 통신 규약의 필요성에 의해 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 에 의해 정의되었다. SECS-I, SECS-II, HSMS를 묶어 통칭한다. SECS-I SECS-II 메세지(데이터)를 RS-232C 통신을 통해 송/수신 하기 위한 규칙. 업계에서 RS-232C 통신이 TCP/IP 통신으로 많이 대체 되면서 요즘에는 거의 쓰이지 않는다. HSMS (High Speed SECS Message Service)